Systemintegration in der Mikro- und Nanotechnik II
- Type: Vorlesung (V)
- Semester: WS 20/21
- Lecturer: Dr. Ulrich Gengenbach
- SWS: 2
- Lv-No.: 2105040
- Information: Online
Links
Bemerkungen | Einführung in die Systemintegration (neue Verfahren und Anwendungen) Montage hybrider Mikrosysteme Packaging Verfahren Anwendungen:
Neue Integrationsverfahren:
Lernziele Die Studierenden eignen sich Kenntnisse neuer System-integrationstechnologien und ihrer Anwendung in mikrooptischen und mikrofluidischen Systemen an. |
Vortragssprache | Deutsch |
Literaturhinweise | N.-T. Nguyen, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House G. T. Reed, Silicon Photonics: An Introduction, Wiley |