Systemintegration in der Mikro- und Nanotechnik 2

Inhalt

Einführung in die Systemintegration (neue Verfahren und Anwendungen)

Montage hybrider Mikrosysteme

Packaging Verfahren

Anwendungen:

  • Mikroverfahrenstechnik
  • Lab-on-Chip-Systeme
  • Mikrooptische Systeme
  • Silicon Photonics

Neue Integrationsverfahren:

  • Direct Laser Writing
  • Self Assembly

Lernziele

Die Studierenden eignen sich Kenntnisse neuer System-integrationstechnologien und ihrer Anwendung in mikrooptischen und mikrofluidischen Systemen an.

VortragsspracheDeutsch
Literaturhinweise

N.-T. Nguyen, Fundamentals and Applications of Microfluidics, Artech House

G. T. Reed, Silicon Photonics: An Introduction, Wiley