Fachgebiet Systemintegration für Nano- und Mikrosysteme (SI-NMS)
Gruppe Prozessoptimierung, Informationsmanagement, Anwendungen (PIA)
Karlsruher Institut für Technologie (KIT) Institut für Automation und angewandte Informatik (IAI)
Hermann-von-Helmholtz-Platz 1 76344 Eggenstein-Leopoldshafen
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